俄罗斯开发自主半导体制造设备,要彻底摆脱美国芯片限制!
2024-11-25 09:26:46 EETOP(推荐阅读:俄罗斯破冰之作:首台光刻机惊艳问世!)
俄罗斯本土化芯片制造
俄罗斯工业和贸易部委托开发的这种半导体设备,用于对二氧化硅、钨和铜介电层进行化学机械抛光(CMP)。为此,拨款17亿卢布。这台设备将用于在200毫米直径硅片上制造180纳米至90纳米的芯片。
根据技术任务书,设备的国外功能原型是由美国应用材料公司(Applied Materials)生产的MIRRA Mesa Integrated System 200。工业和贸易部代表透露,设备的主要使用方包括Mikron和“НМ-ТЕХ”工厂,以及其他使用化学机械抛光(CMP)工艺的企业。
“化学机械抛光是电子元件生产中的关键工艺之一,”工业和贸易部表示,“设备的开发属于电子机械制造综合发展计划的一部分,该计划不仅涵盖光刻工艺,还旨在逐步研发贯穿电子元件生产全过程的关键设备:从半导体硅片的制造到芯片的分离。”
开发计划与功能
工作预计于2028年11月30日完成,招标于11月11日启动,执行方将在12月10日确定。这项工作是俄罗斯国家科学技术发展计划的一部分。
新设备将执行以下工艺:
- 平面化具有拓扑结构的二氧化硅介电层;
- 清洗硅片;
- 测量介电层厚度。
平面化是消除半导体硅片表面不平整的过程,对后续如离子注入等制造步骤至关重要。正如独立专家兼RUSmicro Telegram频道作者阿列克谢·博伊科所指出,均匀的表面对于确保离子精确分布和后续制造步骤非常重要。
平面化是消除半导体硅片表面不平整的过程,对后续如离子注入等制造步骤至关重要。正如独立专家兼RUSmicro Telegram频道作者阿列克谢·博伊科所指出,均匀的表面对于确保离子精确分布和后续制造步骤非常重要。
“CMP设备开发是创建本土生产设备以实现芯片制造生产线的一部分,”博伊科补充道。
根据任务书,设备组件和材料必须为本土生产,以避免对外国制造商的关键依赖。
工业和贸易部正在进行大规模工作,推动俄罗斯国内设备生产,包括材料、设备制造以及微电子生产的加强和现代化。例如:
2023年3月,工业和贸易部拨款超过20亿卢布,用于开发生产芯片所需材料;
2024年9月,启动招标开发硅片存储容器的清洗和干燥设备,预算为4.768亿卢布;
2024年11月,拨款4亿卢布,用于轻掺杂单晶硅片生产技术,计划到2027年实现每年生产10万片,且成本与同类进口产品相当;