EUV光刻机已进入安装阶段，SK海力士10纳米DRAM即将亮相
2021-01-21 15:57:29
EETOP
因此业内人士有诸多揣测，包括将研究大楼R3的2台EUV光刻机转移至该产线，并计划于今年2月开始安装新购买的设备等。现在看来，SK海力士新设备的购买和安装速度快于业界预期。
随着EUV关键设备安装工作的全面展开，开展EUV项目的SK Hynix Task Force（TF）的角色也发生了变化。据报道，EUV TF由韩国科学技术研究院内的郑泰宇副院长负责，目前正进入1a DRAM研发定案阶段，并专注于向量产线转移技术。据悉，三星电子在研发阶段已经获得了可观的良率。而SK海力士在准备生产EUV DRAM的同时，力求在线宽上有所突破，并提高集成度。
关键词：
EUV
光刻机
1纳米
ASML
EUV光刻机
海力士
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