2019半导体关键子系统TOP10榜单出炉：受惠EUV订单，蔡司排榜首
2020-04-14 12:31:52 EETOP
这是因为EUV光刻机已经全面投产，蔡司是ASML的EUV光学子系统的独家供应商。
10个主要子系统供应商的2019年市场份额的同比变化率（来源：VLSI研究）
这是一个价值120亿美元的行业，VLSIresearch将“关键子系统”定义为高度工程化和专门化的技术，这些技术在设备制造过程中起到关键作用。
子系统包括真空泵、流体泵、流体泵、阀门、管道、质量流量控制器、过程诊断工具（分析仪等）、光学元件（透镜、反射镜等）、射频电源、热交换器、静电检测、搬运机器人等。
