据外媒报道,台积电副董事长兼首席执行官CC We称该公司的5nm计划已步入正轨,这或许意味着他们将有望在2020年第二季度实现5nm关键节点的批量制造。
目前台积电已经增加了其各种节点的支出。预计的投资额为100亿美元,后增加到了140亿至150亿美元。
据悉 台积电的5nm工艺(N5)将在其N7 +和N6工艺上使用的层数更多,将会采用极限紫外光刻(EUVL)。
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