Crossing 推出增强版Spartan EFEM
2010-04-06 16:23:32 本站原创为大规模半导体设备制造商提供高效节能的前端与后端自动装置解决方案及工程服务的领先供应商Crossing Automation公司宣布，已经提高公司的SpartanTM设备前端模块（EFEM）的性能，将其每小时的加工能力提高至 450张晶圆。改进设计的目的是满足高通量半导体制造工艺如剥离/去胶、清洗和离子注入的需要。由于拥有专有的晶圆机常压机器人，改进后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的时间内以最快的速度进行晶圆切换，实现100%的工艺设备利用率。
增强版Spartan EFEM已通过某领先的剥离设备供应商的认证，并表明在现有的EFEM技术的技术基础上将加工能力提高了20%。此次实际生产验证Spartan平台的安 装基数超过1000件，上线时间达99%。
