根据Yole Développement公司的分析，MEMS市场将以每年13%的速度增长，到2017年将达到210亿美元。

Yole Développement预期，动作感知和微流体领域将会呈现强劲增长并主导MEMS市场，到2017年会占整体市场份额的一半，而加速计、陀螺仪、磁强计和过滤器则占总体市场的25%，另外微流体占23%。

Yole预计，分立惯性传感器的市场份额将会下降，但惯性组合解决方案的增势还是很迅猛的。目前，过滤器组合市场份额达到了1亿美元，而Yole预计到2017年会达到17亿美元。

几乎所有的MEMS厂商在2011年里都呈现了增长的势头。而惯性传感器和麦克风厂商增长的是最快的。

ST现在已经可以交付多样性的MEMS器件产品了，而它90%的IDM业务是由加速计和陀螺仪两条产品线组成的。ST拥有广泛的合作关系来加速产品投入市场的速度、扩大产品范围。

博世（Bosch）的成功则受益于工厂的基础设施建设，其主要专注于汽车应用程序以降低价格。

有些新型的MEMS器件的市场份额正在以年复合增长率90%的速度增长。MEMS市场仍然很碎片化，很多高容量的MEMS应用仍然受到了限制。

然而，一系列的新的MEMS器件现在已经面市了，其中一些即将量产，如那些应用于移动设备的，比如RF MEMS开关、振荡器、自动对焦等等。新型传感器像湿度传感器、触摸屏，和新型的制动器如开关、能量捕获等等都驱动着MEMS市场未来的增势。

另外，MEMS市场的增长还来自于现有传感器技术向新的市场扩展这方面因素，有时会使用新的集成类型，如压力传感器等等。

2011年，MEMS业界的并购交易数量和金额都有所激增，并购总金额达到了17亿美元。早期，MEMS公司的收购价格很高（如美信收购SensorDynamics公司，花费了约1.3亿美元，并承担了约3400万美元的债务），因为拥有坚实的技术基础的私家公司很少，这也使得它们在日益扩张的MEMS市场中变得很惹眼，很多大公司都想借由它们打入这片领域。