三星14纳米FinFET处理器揭密
2015-04-16 08:55:09 eettaiwan因此我们 TechInsights 认为值得仔细观察一下其他较旧款的Exynos系列处理器,来看看是否能发现一些共通性;下方的图片中,除了Exynos 7420的近距离特写,还有Exynos 4412、5410、5430以及5433。
我们注意到Exynos 7420封装上印刷的处理器型号“N8AZ9MP31”下方有“ALB”字样,这被推测是指Albany机场,而且延伸联想到GlobalFoundries同样位于美国纽约州(Saratoga)的晶圆代工业者GlobalFoundries。而在其他Exynos处理器上也有类似的字样,例如4412上的事ACA,5014上的是ABA,5422上的是AJB,5430上的是BJE,5433上的则是AKD。
5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Yw" title="三星14纳米Fif"http://www.eetop.cn/communication" target="_blank" class="keylink">5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Yw" src="http://www.eetop.cn/uploadfile/2015/04/3_201504160855171khsU.jpg" border="0">
Samsung Exynos 7420特写 (来源:Techinsights)
经过搜寻全球各地的机场代码(IATA 3- letter),ACA代表的是墨西哥Acapulco,ABA代表的是俄罗斯的Abakan,AJB与BJE不存在,AKD是印度的Akola;而既然以上有两种英文字母组合是不存在的,其他三个代表的机场又与三星晶圆厂距离甚远,因此我们可以排除“ALB”是指晶圆代工厂位置的可能性。
5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Yx" title="三星14纳米Fif"http://www.eetop.cn/communication" target="_blank" class="keylink">5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Yx" src="http://www.eetop.cn/uploadfile/2015/04/3_2015041608551725wIy.jpg" border="0">
Exynos 4412 (来源:Techinsights)
5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Yy" title="三星14纳米Fif"http://www.eetop.cn/communication" target="_blank" class="keylink">5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Yy" src="http://www.eetop.cn/uploadfile/2015/04/3_201504160855173f7SO.jpg" border="0">
Exynos 5422 (来源:Techinsights)
5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Yz" title="三星14纳米Fif"http://www.eetop.cn/communication" target="_blank" class="keylink">5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Yz" src="http://www.eetop.cn/uploadfile/2015/04/3_201504160855174QbzY.jpg" border="0">
Exynos 5430 (来源:Techinsights)
5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Y0" title="三星14纳米Fif"http://www.eetop.cn/communication" target="_blank" class="keylink">5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Y0" src="http://www.eetop.cn/uploadfile/2015/04/3_201504160855175iyW1.jpg" border="0">
Exynos 5433 (来源:Techinsights)
至于Exynos GXL4928R中的字母G,在4412、5422、5433上也可见到,分别式GKL799X、GFL2349C与GUF6679M;我们认为G指的是在PoP (Package on Package)封装记忆体模组内使用SRAM,并不是晶圆代工厂的代号。
我们也注意到,上述的Exynos处理器(4412、5422、5430与5433)是在14奈米节点前好一段时间就生产了,也是在GlobalFoundries授权三星14奈米制程技术之前,因此G不可能指的是那家晶圆代工业者,可以排除;我们认为Exynos 7420是三星自家生产。
从下面的图片可以看到面积为9.2 mm x 9.3 mm (86 mm2)的Exynos 7420裸晶;这款元件采用覆晶(flip-chip)方式与封装基板以凸块(bump)黏结,可以看到那些暗色的凸块分布在裸晶的表面上。
我们一开始对7420的横截面分析显示该款晶片确实有FinFET电晶体,因此确定三星是采用14奈米FinFET制成生产此处理器;我们量测到的接触闸(contacted gate)间距约为77奈米,比Exynos 5430所采用的20奈米制程之90奈米间距小了15%左右。
5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Y1" title="三星14纳米Fif"http://www.eetop.cn/communication" target="_blank" class="keylink">5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Y1" src="http://www.eetop.cn/uploadfile/2015/04/3_2015041608551760dFa.jpg" border="0">
Exynos 7420裸晶 (来源:Teardown.com)
扫描式电子显微镜(SEM)影像则显示,围绕在金属闸极侧边与底部的闸介电质(gate dielectric)与功函数金属(work function metal)。
5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Y2" title="三星14纳米Fif"http://www.eetop.cn/communication" target="_blank" class="keylink">5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Y2" src="http://www.eetop.cn/uploadfile/2015/04/3_201504160855177jcel.jpg" border="0">
Exynos 7420的FinFET电晶体
5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Y3" title="三星14纳米Fif"http://www.eetop.cn/communication" target="_blank" class="keylink">5GRVTlpITnkIblmajmj63lr4Y3" src="http://www.eetop.cn/uploadfile/2015/04/3_201504160855178Pen4.jpg" border="0">
Exynos 7420的FinFET电晶体
在2015年4月发表的Exynos 7420,是继英特尔(Intel)在2014年10月发表第一款14奈米Broadwell 处理器5Y70之后,第一款采用14奈米FinFET制程生产的晶片;而这款晶片的发表距离三星于2014年9月发表的20奈米节点Exynos 5420仅七个月。英特尔传统上在制程进展会比台积电(TSMC)与三星超前一年,现在三星已经将差距缩短到半年,这是一大成就。
编译:Judith Cheng
(参考原文: Samsung Delivers Its 14 nm,by Kevin Gibb;本文作者为EETimes美国版姊妹公司TechInsights的产品经理)