中微公司Prismo系列MOCVD设备已进入全球大多数领先的氮化镓基蓝绿光LED制造商，此次推出的Prismo UniMaxTM是中微公司Prismo系列MOCVD设备的最新产品，该设备在同一系统中可配备多达4个反应腔。Prismo UniMaxTM配置了创新的多区温度补偿加热系统，具备优异的波长均匀性、重复性和稳定性。该设备还具有其他一些新颖特征，如喷淋头的优化设计实现了更好的均匀性和产出稳定性、超大直径石墨托盘可大幅提升产能并降低成本。Prismo UniMaxTM MOCVD设备专为高产量而设计，具有业内领先的加工容量；通过石墨盘晶片排布的最优化，其加工容量可以延伸到生长164片4英寸或72片6英寸晶片。

中微公司Prismo UniMaxTM MOCVD设备已收到来自国内领先客户的订单。同时，中微公司正在与更多客户合作进行设备评估。Prismo UniMaxTM 设备拓展了中微公司的MOCVD设备产品线，亦为全球LED芯片制造商提供最新解决方案以应对Mini LED生产带来的挑战。

随着LED电视、平板电脑、笔记本电脑、桌面显示器、智能手机和车载显示等应用需求的不断增长，Mini LED作为一种新兴技术备受关注。Mini LED具有高亮度、精确的动态响应和高对比度等优势，能够显著提升显示品质。中微公司发布的Prismo UniMax™ MOCVD设备能够帮助客户在Mini LED生产过程中实现优异的波长均匀性和稳定性，这些指标也是Mini LED生产的制胜关键。

“Prismo UniMaxTM延续了中微公司现有Prismo平台的核心技术，是目前国内外极具创新性的MOCVD设备，为高性能的Mini LED生产提供高性价比的技术解决方案。”中微公司董事长兼总经理尹志尧博士说道，“我们很高兴看到公司开发的Prismo UniMaxTM设备已开始被国内领先的LED客户所采用。产品不仅能满足严格的技术要求，还能帮助客户以更低的成本获得更高的产量。我们欣喜地看到MOCVD设备市场即将迎来一个新的高潮。我们期待与我们的客户和合作伙伴一同并肩努力，进一步推动Mini LED技术和MOCVD设备市场的发展。”

Prismo UniMaxTM是中微公司的注册商标。

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用，中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。